Blanket
Blanke _ ON Stack
300mm 실리콘 웨이퍼 위에 ON(산화막/질화막) 적층막을 증착하는 Blanket Wafer 제작 서비스입니다.제작 사양
- 웨이퍼 규격
- 300mm
- 기판
- Sub_Si
- 상부막
- ON Stack <100L
- ON Pitch
- >14/25nm
공정 및 장비
| 단계 | 공정 | 진행 장비 |
|---|---|---|
| 01 | FN Cleaning | NSM312 |
| 02 | ON Dep | VECTOR_Strata GX(구입검토 중) |
| 03 | Thickness Measurement | ATLAS_XP_PLUS |
| 04 | Particle Measurement | SP7XP |
유의사항
- VECTOR_Strata GX는 중고 장비 구입을 검토 중입니다.